안녕하세요?

최근에 나노종합기술원 특성분석팀에 "X-ray Diffractometer" 장비 구축이 완료되어 서비스를 시작합니다.

많은 관심과 활용 부탁 드립니다.

○ 장비명 : X-ray Diffractometer (SmartLab, Rigaku corporation)

○ 장비 담당자 : 김경태 (042-366-1711, 특성분석팀)

○ 응용분야

- 고분해능 박막 회절 실험 (XRR, Rocking Curve, RSM, Pole Figure)

- 박막/분말 시료의 결정상 정성/정량 분석

- 박막/분말 시료의 결정상 평가, 결정립 크기 분석 및 격자상수 보정

- In-plane 측정 및 극미량 시료 측정

- 결정 방위 분석 및 웨이퍼 맵핑 분석

- 잔류응력 측정

- 대기 차폐 회절 실험

○ 일반정보

- X-ray generator : 9kW(rotating anode)

- X-ray tube : Cu

- Goniometer

· Scanning mode : Theta-theta vertical type

· Goniometer radius : 300mm

· Min. step : 0.0001 deg

· Sample stage : standard or Eulerian cradle

· Z-axis : sample height alignment

- Slit system : automatic variable slit

- Diffracted beam monochromator

- Detector : Scintillation counter (0D), D/teX Ultra 250 (1D)

○ 이용료 기준

- Normal XRD(이용자 진행) : 30,000월, 30분기준

- Normal XRD(θ-2θ, 2θ) : 40,000원, 30분기준

- Special XRD(XRR, RSM, Pole-figure, SAXS, In-plane) : 50,000원, 30분기준